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TRIM 模擬離子注入深度 已有1人參與
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樣品離子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均勻。調(diào)整均勻束斑后，在靶流強(qiáng)只有0.5euA，劑量3.0×1016粒子/cm2，輻照用時36h。 基底為金剛石紫晶，求大神用TRIM 軟件來模擬一下注入深度 。謝謝 |
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zzzzzdu
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2樓2018-09-25 18:05:30
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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請問樓主，金剛石靶材的表面結(jié)合能，晶格束縛能，位移閾值是多少，網(wǎng)上沒看到過這些參數(shù)啊，急求！謝謝！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2018-09-26 18:49:12
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