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xingxingzi新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何制備100nm左右的PMMA薄膜？ 已有1人參與
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Sample Text 最近在制備100nm左右的PMMA薄膜，實驗室沒有現(xiàn)成買好的，所以自己把PMMA顆粒溶于甲苯中，發(fā)現(xiàn)很難溶解，請教各位如何制備PMMA溶液？ 此外，請教一下各位旋涂工藝，旋涂完后烘烤溫度等工藝？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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xingxingzi: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-10-09 18:22:39
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| 我們用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的話其厚度還與濃度有關(guān)吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的話厚度好像就幾個nm吧，具體的要測一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的濃度5000r/min轉(zhuǎn)1min厚度~100nm。后續(xù)烘干的溫度似乎沒個特別的定值吧，只是烘干的話70~90℃都差不多，不到100℃。不過我有時會升到170左右。 |
2樓2012-10-08 21:27:36
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7樓2012-10-18 10:56:25
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8樓2012-10-18 12:53:38
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