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tzsigouzzz新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射真空檢漏 已有2人參與
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各位前輩，我現(xiàn)在做的是多靶磁控濺射，最近出現(xiàn)在鍍膜時(shí)，真空室門口的那塊靶附近會(huì)變藍(lán)或者暗黃色（靶材是Cr靶），其他的靶附近都是正常顏色，是不是說那塊靶附近漏氣了，真空每天關(guān)了分子泵以后大概是10-3量級(jí)，第二天早上開機(jī)就到幾十帕了，要怎么檢漏呢 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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10樓2018-01-16 19:23:07
2樓2018-01-12 16:48:39
tzsigouzzz
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極限真空大概到-5級(jí)別了，不過一般用不到那么級(jí)別，第二天直接漏到了幾十帕了呢，只有那一塊靶附近有這種現(xiàn)象是不是可以說漏氣主要出在那附近呢，用酒精撿了幾次，真空度都沒有變化的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2018-01-12 18:13:26
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4樓2018-01-12 19:02:36
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