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192837465新蟲 (小有名氣)
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[求助]
使用直流磁控濺射鍍氧化鋁，結(jié)果什么都沒有 已有2人參與
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我使用直流磁控濺射，濺射鋁靶材同時(shí)通入氧氣，以此來在玻璃襯底上制備氧化鋁薄膜。 沒有通氧氣時(shí)，輝光是紫色偏白的，通入一點(diǎn)氧氣后，輝光立馬變成紅色。 之前鍍鋁膜，是能鍍上去的，薄膜也是銀白色的。 這次鍍氧化鋁，換了一堆參數(shù)，甚至連靶基距都縮小了，都能保證起輝，而且有時(shí)候輝光閃爍，電流有微小浮動(dòng)，所以我感覺有氧化鋁形成，不然輝光不可能不穩(wěn)定的，可樣品拿出來過后，感覺玻璃片上什么都沒有… 請(qǐng)教各位朋友，這是什么原因呢？只要有想法都可以交流！ 謝謝各位，回答精彩的追加小紅花～～～ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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11樓2017-03-02 17:11:06
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氧化鋁磁控濺射特別慢，我這邊100W 5mTorr 2小時(shí)大概16nm，而且氧化鋁是透明的 長(zhǎng)沒長(zhǎng)上你得去測(cè) 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
1928374652樓2017-02-28 11:18:22
192837465
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3樓2017-02-28 12:41:35
4樓2017-02-28 21:28:56
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