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2015315新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射鎳鈦合金靶材,附著性差的問(wèn)題 已有3人參與
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| 各位大神,直流濺射近等原子比鎳鈦合金靶,靶材厚4mm,功率100W,時(shí)間30分鐘,氣壓1.5Pa,流量20sccm,但是濺射附著性太差,一抹就掉,是什么原因呢? |
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是重熔問(wèn)題的可能性不大。而且鎳鈦合金 誰(shuí)會(huì)去燒結(jié)? 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
在讀研究生
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磁控濺射的膜,這應(yīng)該屬于機(jī)械結(jié)合吧 可能是試樣表面粗糙度太低,打磨的時(shí)候不用最細(xì)的那一號(hào)砂紙打磨,應(yīng)該可以緩解下 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |


新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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