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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 有沒有用磁控濺射方法濺射石墨靶的同學
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| 查看: 4826 | 回復: 31 | |||
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拾肆洛希鐵蟲 (初入文壇)
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[交流]
有沒有用磁控濺射方法濺射石墨靶的同學 已有17人參與
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| 直流磁控濺射方法濺射石墨靶，發(fā)現濺射率很低，有沒有什么方法可以提高濺射速率的呢 |
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13樓2017-05-18 11:03:33
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你的濺射壓力和氣體流量多少？現在的濺射速率是多少？一般提高功率即可，不過要看你需要達到的目的，還有是否一定需要用直流，這個也和你所用的電源有關。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2017-05-17 14:34:00
拾肆洛希
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3樓2017-05-17 17:03:15
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你看一下別人的文獻是否需要用到這么高的氣體流量。還有就是如果電源功率上不去，你要增加沉積速率會比較困難，因為石墨靶上激發(fā)的離子濃度不足，相應基體上的附著率也無法提高。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2017-05-17 21:27:03
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