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1017549406金蟲 (小有名氣)
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[交流]
CVD石墨烯轉(zhuǎn)移PMMA去除問題，怎么都去不干凈
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我轉(zhuǎn)移石墨烯有半年多了，最近轉(zhuǎn)移的石墨烯表面無論如何都去除不干凈，一開始反面用氧離子轟擊弄干凈了，但最近這招也不管用了，懷疑是pmma的殘余，但是怎么才能去干凈呢？我用的是電子束曝光用的pmma，950k，溶于苯甲醚，希望得到蟲友幫助，急，轉(zhuǎn)移后圖如下 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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1017549406: 金幣+10, 回答很有幫助，謝謝！ 2017-05-02 08:43:47
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
1017549406: 金幣+10, 回答很有幫助，謝謝！ 2017-05-02 08:43:47
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我感覺你這是雙面CVD石墨烯有一面沒有用氧等離子燒干凈，銅刻蝕之后背面石墨烯卷曲起來裹住了PMMA導(dǎo)致洗不干凈。另外刻蝕液嚴(yán)重不推薦氯化鐵，會導(dǎo)致石墨烯破損。建議用過硫銨，轉(zhuǎn)子攪拌除氣泡；氯化銅在快速沖洗避免沉淀的情況下也可以用。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
1017549406
18樓2017-05-02 00:39:24
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2樓2017-05-01 16:12:38
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3樓2017-05-01 16:18:39
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4樓2017-05-01 16:18:54
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