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馳名認(rèn)證新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射銀膜怎么提高薄膜與基底的附著力 已有1人參與
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用紫外光刻機(jī)在SiO2基底上制作了四電極圖案 磁控濺射銀膜做電極 lift off 丙酮去膠 銀膜全掉了 電極也沒了 有什么辦法可以讓電極部分的銀膜與SiO2基底的粘附力更強(qiáng)一點(diǎn)么 光刻用的是正膠 濺射功率200W 時間5-10分鐘都做過 想請教一下各位前輩，有什么方法可以解決 是不是需要換基底？ |
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馳名認(rèn)證10樓2017-03-07 14:02:50
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9樓2017-03-06 09:04:10
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2樓2017-03-04 22:24:02
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3樓2017-03-05 12:08:52
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4樓2017-03-05 15:45:23
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5樓2017-03-05 15:47:30
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6樓2017-03-05 15:50:17
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如果有改善的話，可以繼續(xù)增加壓強(qiáng)，或者還可以試下降低壓強(qiáng)，還有，LIFT OFF工藝一般不能退火， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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7樓2017-03-06 00:55:47
zengbinjian
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8樓2017-03-06 00:57:10
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