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yang12銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
光刻lift-off 已有3人參與
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| 新手第一次做正膠的剝離。用的是AZ5214E光刻膠，沒(méi)有反轉(zhuǎn)。顯影堅(jiān)膜后，進(jìn)行的熱蒸鍍，鍍了30nm的Cr和10nm的金。求助剝離應(yīng)該怎么做？目前沒(méi)有專(zhuān)用的剝離液，可以用的是丙酮。謝謝各位！ |
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daerbeijita
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2樓2017-03-09 20:47:44
yang12
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謝謝，超聲大概洗多久呀？我提前用了一片只鍍了Cr的片子放在丙酮里超聲洗了5min，有的地方的光刻膠沒(méi)有洗掉。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2017-03-09 23:14:12
yswyx 
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4樓2017-03-10 12:38:39
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唔，5214放在丙酮里泡著，半小時(shí)到一個(gè)小時(shí)就完全沒(méi)有了。 我做電極一直用5214的，沒(méi)啥問(wèn)題 超聲容易破壞結(jié)構(gòu) 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
5樓2017-03-10 15:25:25
babyoflion
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6樓2017-03-12 14:42:33
xxiaotian
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9樓2018-05-16 15:33:52
chichister
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10樓2018-05-17 16:47:14
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