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dengdenger新蟲 (小有名氣)
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[求助]
AZO 薄膜導(dǎo)電問(wèn)題 已有5人參與
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我用的前驅(qū)體溶液旋涂熱處理成膜。目前在250.300.400下熱處理成膜（加熱板）。但是薄膜很透，導(dǎo)電性很差。旋涂10層大概1.5微米那么厚，250度的樣品去測(cè)霍爾，根本測(cè)不出來(lái)。400度的可以測(cè)出來(lái)但是電阻率達(dá)到10的3次方，方塊電阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高摻雜量，還有提高溫度。非常需要您的幫助，現(xiàn)在做這個(gè)很迷茫，只是為了畢業(yè)，我覺(jué)得現(xiàn)在被這個(gè)搞的很壓抑。希望大家?guī)蛶臀摇?? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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peterflyer 
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peterflyer
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| 除了提高摻雜量、提高溫度以外，個(gè)人覺(jué)得還要提高薄膜的密實(shí)度，減少其中的氣孔率，為此需要增加薄膜對(duì)基底的潤(rùn)濕度和降低前驅(qū)體懸浮液的表面張力。 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
10樓2017-06-25 09:32:45
a979805929
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
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可能太厚，測(cè)霍爾3層就差不多，可以試試高溫退火前先低溫（200）退10min，然后高溫退60min 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
7樓2017-06-24 23:43:50
嵩陽(yáng)圣賢
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2樓2017-06-23 10:58:51
dengdenger
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3樓2017-06-23 11:02:31
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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摻雜、這是慣用方法， 包覆、最近國(guó)軒貌似有人用這個(gè)方法在做 只是建議， |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
4樓2017-06-23 11:15:27
5樓2017-06-23 11:43:41
dengdenger
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6樓2017-06-23 12:13:57
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送紅花一朵 |
我還沒(méi)有涂過(guò)3層，不知道結(jié)晶性怎么樣。感謝您的建議，我會(huì)試試的。剛發(fā)了一個(gè)想退學(xué)的帖子，點(diǎn)開(kāi)您的回復(fù)發(fā)現(xiàn)不是回復(fù)那個(gè)帖子的，真是驚喜。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
8樓2017-06-24 23:57:59
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9樓2017-06-24 23:58:47
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