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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 薄膜電阻退火
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木木星木界新蟲 (初入文壇)
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[求助]
薄膜電阻退火 已有2人參與
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用磁控濺射機濺射的pt，為了使電阻性能更加穩(wěn)定 采用一般的馬弗爐退火，在退火溫度保持兩個小時。 但我退火后電阻值總是增大的……和理論上的降低不符………求助啊啊 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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 薄膜制備與特性 |
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kangye_1989
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10樓2017-06-30 06:56:28
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