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yangyu1995銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射問題 已有5人參與
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用反應(yīng)磁控濺射鍍氧化物薄膜，一個(gè)多，兩個(gè)小時(shí)之后輝光顏色會(huì)變，這是怎么回事呀？設(shè)定參數(shù)并沒有變化 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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5樓2017-11-08 08:22:23
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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在磁控濺射里面存在一個(gè)現(xiàn)象叫靶中毒，指的是在靶材表面形成了致密氧化層。這時(shí)輝光一般是減弱，或者略微變色。表現(xiàn)為沉積速率降低，沉積薄膜中組元成分發(fā)生變化。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
6樓2017-11-08 14:00:57
snwoody
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10樓2017-11-09 15:28:08
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2樓2017-11-07 23:31:42
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3樓2017-11-07 23:55:48
lywzd16
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4樓2017-11-08 00:03:31
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7樓2017-11-08 18:47:08
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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這個(gè)我就不確定了，你可以不用打磨直接再生長(zhǎng)看看是不是還是這樣，如果是就說明表面確實(shí)有東西了，靶中毒。如果沒有的話說明設(shè)備哪里出了點(diǎn)小問題或者說實(shí)驗(yàn)過程中隨機(jī)出現(xiàn)的小毛病。不管怎么樣都建議把靶表面打磨一下。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
8樓2017-11-08 19:28:32
pvdmaterial
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9樓2017-11-09 14:13:23
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