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2015315新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射鎳鈦合金靶材，附著性差的問(wèn)題 已有3人參與
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| 各位大神，直流濺射近等原子比鎳鈦合金靶,靶材厚4mm，功率100W，時(shí)間30分鐘，氣壓1.5Pa,流量20sccm，但是濺射附著性太差，一抹就掉，是什么原因呢？ |
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 磁控濺射鍍膜工藝 |
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磁控濺射的膜，這應(yīng)該屬于機(jī)械結(jié)合吧 可能是試樣表面粗糙度太低，打磨的時(shí)候不用最細(xì)的那一號(hào)砂紙打磨，應(yīng)該可以緩解下 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
2樓2017-12-06 12:33:58
3樓2017-12-06 15:24:53
2015315
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4樓2017-12-07 09:01:25
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送紅花一朵 |
基體是tc4,丙酮，酒精清洗過(guò)。氣壓1.5帕，室溫濺射，直流。鎳有磁性，會(huì)不會(huì)是這造成的，射頻能否試一下呢。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
5樓2017-12-07 09:04:28
6樓2017-12-07 09:37:59
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你描述的現(xiàn)象是薄膜與基片結(jié)合力太差 辦法就是想辦法增加結(jié)合力，比如樓上答的，基片保持潔凈，或增加過(guò)度層 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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7樓2017-12-08 07:02:33
8樓2017-12-08 14:58:24
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9樓2017-12-12 12:48:02
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10樓2017-12-12 12:49:38
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