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corredo木蟲 (小有名氣)
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[交流]
要在硅片上制作1μm左右的結(jié)構(gòu),大家有什么好辦法嗎? 已有8人參與
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要在硅片上做結(jié)構(gòu),大概1μm*10μm的方孔,或者1μm*5μm也行。 之前做過5μm*10μm的,用的是光刻膠顯影之后DRIE工藝刻蝕。 現(xiàn)在想做更小的結(jié)構(gòu)。但是聽?zhēng)熜终fDRIE做不了1μm的方孔,尺寸太小。 不知道大家有什么好辦法。 |
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木蟲 (小有名氣)
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