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tiancaisha
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[求助]
請真空鍍膜過程中，使用過偏壓清洗的朋友幫忙回答一下！謝謝
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| 本人使用磁控濺射設(shè)備，在硬質(zhì)合金基體上制備硬質(zhì)涂層，在鍍膜前需要使用偏壓清洗一下工件的表面。我想問一下當(dāng)我給真空室中通入氬氣到2*10-1Pa，然后給工件加上1000V的負(fù)偏壓，占空比30%進(jìn)行偏壓清洗，我想問問此時工件的表面或附近會不會出現(xiàn)輝光或者是白光��？因為我清洗完之后，把工件拿出來之后，發(fā)現(xiàn)跟放進(jìn)去之前沒有什么變化，表面還是比較臟，也還有氧化皮等。。請用過偏壓清洗的朋友們幫忙分析一下��！謝謝 |
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4樓2014-04-18 09:11:03
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【答案】應(yīng)助回帖
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tiancaisha: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2014-04-19 19:53:56
| 我在做偏壓清洗時，工件（基體）如果是導(dǎo)體的話，它周圍是有光的；若工件不是導(dǎo)體的話，它周圍沒光。但是無論工件是導(dǎo)體與否，工件所在的轉(zhuǎn)架周圍有很暗的紫色光，而且你會發(fā)現(xiàn)偏壓指針不斷的晃動直至清洗完畢后穩(wěn)定。 |
3樓2014-04-18 08:46:08
tiancaisha 
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5樓2014-04-18 20:31:37
tiancaisha
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6樓2014-04-18 20:32:33
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