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睡睡誰(shuí)誰(shuí)金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射用的分子泵報(bào)警
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| 在抽真空時(shí),分子泵能正常工作。 可是到了關(guān)閉分子泵時(shí),控制分子泵的模塊示數(shù)從400開(kāi)始下降,下降到30左右時(shí),機(jī)器就會(huì)報(bào)警。!并顯示OLI,誰(shuí)知道這是什么情況???這段時(shí)間一直這樣。。。。。。。。。。。 |

版主 (文壇精英)
有尾巴的青蛙
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應(yīng)該翻看改分子泵的說(shuō)明書(shū)。 參考: 檢查輸出線是否有短路現(xiàn)象;檢查前級(jí)真空度是否過(guò)低。 第18/28頁(yè) https://www.docin.com/p-793944571.html |

金蟲(chóng) (小有名氣)

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有尾巴的青蛙

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有尾巴的青蛙

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