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dengdenger新蟲 (小有名氣)
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[求助]
AZO 薄膜導(dǎo)電問題 已有5人參與
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我用的前驅(qū)體溶液旋涂熱處理成膜。目前在250.300.400下熱處理成膜（加熱板）。但是薄膜很透，導(dǎo)電性很差。旋涂10層大概1.5微米那么厚，250度的樣品去測霍爾，根本測不出來。400度的可以測出來但是電阻率達(dá)到10的3次方，方塊電阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高摻雜量，還有提高溫度。非常需要您的幫助，現(xiàn)在做這個很迷茫，只是為了畢業(yè)，我覺得現(xiàn)在被這個搞的很壓抑。希望大家?guī)蛶臀摇?? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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5樓2017-06-23 11:43:41
嵩陽圣賢
新蟲 (初入文壇)
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2樓2017-06-23 10:58:51
dengdenger
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2017-06-23 11:02:31
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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摻雜、這是慣用方法， 包覆、最近國軒貌似有人用這個方法在做 只是建議， |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
dengdenger
4樓2017-06-23 11:15:27
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