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liuyulun1225新蟲 (正式寫手)
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[求助]
脈沖激光沉積制備工藝求助。 已有2人參與
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想知道激光打到靶材上，讓不同材質(zhì)靶材打出等離子體的能量閥值是多少？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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kangye_1989
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6樓2017-06-21 12:19:33
liuyulun1225
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簡(jiǎn)單說一下情況：用的是KrF準(zhǔn)分子激光器，波長(zhǎng)是248nm,換算出來光子能量大約是9ev，聚焦在靶材的光斑尺寸不知道怎么測(cè)量。靶材是GaN靶和In靶。請(qǐng)大家指導(dǎo)一下，或者告訴我該看什么書。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2017-06-11 12:01:00
kangye_1989
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| 你關(guān)注的方向可能有點(diǎn)問題，我們一般會(huì)關(guān)注等離子羽輝能濺射到沉底上這個(gè)時(shí)候的能量值，我們實(shí)驗(yàn)室就是直接觀察，生長(zhǎng)薄膜時(shí)會(huì)比這個(gè)值大一些，具體的能量需要通過實(shí)驗(yàn)得到，已得到結(jié)晶質(zhì)量高，表面平整的能量值為優(yōu)。這個(gè)能量還與腔體內(nèi)的真空度有很大關(guān)系。光斑的大小一般是不會(huì)去測(cè)的，比較難測(cè)�？梢杂酶泄饧埛诺桨胁牡奈恢蒙�，打一下看看光斑的大小，一般感光紙會(huì)直接打穿燒掉。 |
3樓2017-06-12 11:14:52
liuyulun1225
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4樓2017-06-13 10:33:42
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