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magnoliadou新蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
如何增強(qiáng)旋涂在石英晶片上的pdms與晶片基底間的粘合度
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石英晶片的qcm應(yīng)用 我希望在圓形石英晶片上旋涂一層pdms后去掉中心的pdms 剩余的pdms環(huán)柱體作為測(cè)量腔支撐壁 高度為80微米左右 徑為0.8mm左右 在其上再鍵合玻璃作為上蓋 但制程中發(fā)現(xiàn)旋涂后pdms在石英晶片上貼合不緊易脫落 這樣在測(cè)量時(shí)通入溶液會(huì)有漏液?jiǎn)栴}。。因此想請(qǐng)教應(yīng)該如何增加旋涂的pdms與石英基底的粘合程度使旋涂后較為緊密~謝謝~ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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樓主，我也遇到PDMS dewetting的情況，應(yīng)該是一樣的，你的問(wèn)題解決了嗎？ |
magnoliadou6樓2018-01-10 12:28:01
13073650296 
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有些材質(zhì)本身對(duì)其粘接力就不夠，最好在旋涂前噴點(diǎn)底涂，增強(qiáng)粘接力 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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2樓2017-12-05 22:44:06
magnoliadou
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4樓2017-12-06 21:55:53
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