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corredo木蟲 (小有名氣)
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[交流]
要在硅片上制作1μm左右的結(jié)構(gòu)，大家有什么好辦法嗎？ 已有8人參與
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要在硅片上做結(jié)構(gòu)，大概1μm*10μm的方孔，或者1μm*5μm也行。 之前做過5μm*10μm的，用的是光刻膠顯影之后DRIE工藝刻蝕。 現(xiàn)在想做更小的結(jié)構(gòu)。但是聽?zhēng)熜终fDRIE做不了1μm的方孔，尺寸太小。 不知道大家有什么好辦法啊？ |
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7樓2016-07-24 09:19:50
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3樓2016-07-22 11:57:23
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4樓2016-07-23 20:02:09
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5樓2016-07-23 23:45:38
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