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dengdenger新蟲 (小有名氣)
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[求助]
AZO 薄膜導(dǎo)電問題 已有5人參與
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我用的前驅(qū)體溶液旋涂熱處理成膜。目前在250.300.400下熱處理成膜（加熱板）。但是薄膜很透，導(dǎo)電性很差。旋涂10層大概1.5微米那么厚，250度的樣品去測(cè)霍爾，根本測(cè)不出來。400度的可以測(cè)出來但是電阻率達(dá)到10的3次方，方塊電阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高摻雜量，還有提高溫度。非常需要您的幫助，現(xiàn)在做這個(gè)很迷茫，只是為了畢業(yè)，我覺得現(xiàn)在被這個(gè)搞的很壓抑。希望大家?guī)蛶臀摇?? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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a979805929
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可能太厚，測(cè)霍爾3層就差不多，可以試試高溫退火前先低溫（200）退10min，然后高溫退60min 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
dengdenger
7樓2017-06-24 23:43:50
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2樓2017-06-23 10:58:51
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3樓2017-06-23 11:02:31
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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摻雜、這是慣用方法， 包覆、最近國(guó)軒貌似有人用這個(gè)方法在做 只是建議， |
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4樓2017-06-23 11:15:27
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