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2015315新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射鎳鈦合金靶材,附著性差的問題 已有3人參與
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| 各位大神,直流濺射近等原子比鎳鈦合金靶,靶材厚4mm,功率100W,時間30分鐘,氣壓1.5Pa,流量20sccm,但是濺射附著性太差,一抹就掉,是什么原因呢? |
磁控濺射鍍膜工藝 |
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你描述的現(xiàn)象是薄膜與基片結(jié)合力太差 辦法就是想辦法增加結(jié)合力,比如樓上答的,基片保持潔凈,或增加過度層 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (正式寫手)
在讀研究生
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磁控濺射的膜,這應(yīng)該屬于機械結(jié)合吧 可能是試樣表面粗糙度太低,打磨的時候不用最細的那一號砂紙打磨,應(yīng)該可以緩解下 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |


新蟲 (正式寫手)
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