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tiancaisha
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[求助]
請(qǐng)真空鍍膜過(guò)程中，使用過(guò)偏壓清洗的朋友幫忙回答一下！謝謝
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| 本人使用磁控濺射設(shè)備，在硬質(zhì)合金基體上制備硬質(zhì)涂層，在鍍膜前需要使用偏壓清洗一下工件的表面。我想問(wèn)一下當(dāng)我給真空室中通入氬氣到2*10-1Pa，然后給工件加上1000V的負(fù)偏壓，占空比30%進(jìn)行偏壓清洗，我想問(wèn)問(wèn)此時(shí)工件的表面或附近會(huì)不會(huì)出現(xiàn)輝光或者是白光�。恳�?yàn)槲仪逑赐曛�，把工件拿出�?lái)之后，發(fā)現(xiàn)跟放進(jìn)去之前沒(méi)有什么變化，表面還是比較臟，也還有氧化皮等。。請(qǐng)用過(guò)偏壓清洗的朋友們幫忙分析一下��！謝謝 |
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7樓2014-04-19 10:04:16
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tiancaisha: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2014-04-19 19:53:56
| 我在做偏壓清洗時(shí)，工件（基體）如果是導(dǎo)體的話，它周?chē)怯泄獾�；若工件不是�?dǎo)體的話，它周?chē)鷽](méi)光。但是無(wú)論工件是導(dǎo)體與否，工件所在的轉(zhuǎn)架周?chē)泻馨档淖仙�，而且你�?huì)發(fā)現(xiàn)偏壓指針不斷的晃動(dòng)直至清洗完畢后穩(wěn)定。 |
3樓2014-04-18 08:46:08
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4樓2014-04-18 09:11:03
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5樓2014-04-18 20:31:37
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