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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 半導體 » 磁控濺射銀膜怎么提高薄膜與基底的附著力
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馳名認證新蟲 (初入文壇)
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磁控濺射銀膜怎么提高薄膜與基底的附著力 已有1人參與
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用紫外光刻機在SiO2基底上制作了四電極圖案 磁控濺射銀膜做電極 lift off 丙酮去膠 銀膜全掉了 電極也沒了 有什么辦法可以讓電極部分的銀膜與SiO2基底的粘附力更強一點么 光刻用的是正膠 濺射功率200W 時間5-10分鐘都做過 想請教一下各位前輩，有什么方法可以解決 是不是需要換基底？ |
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 薄膜制備與特性 |
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4樓2017-03-05 15:45:23
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