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[交流]
在硅片上外延了一層薄膜，怎么測(cè)量該薄膜的電阻率？ 已有4人參與
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用四探針法測(cè)過，但是硅襯底影響測(cè)量結(jié)果，電流會(huì)從硅襯底上過，而不從薄膜上過，還有其他方法可以測(cè)嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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9樓2018-04-19 20:17:43
2樓2017-10-19 13:12:11
aaa2742
木蟲 (正式寫手)
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3樓2017-12-21 16:40:49
4樓2018-04-18 20:54:10
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