如何利用XRD獲得薄膜晶格取向
各位前輩,問(wèn)大家個(gè)問(wèn)題,如果利用XRD獲得薄膜晶格取向。课疫沒(méi)有使用過(guò)XRD,這個(gè)問(wèn)題看得我很頭大。麻煩了解的高手幫下忙,謝謝了,最后有舉例,謝謝!
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各位前輩,問(wèn)大家個(gè)問(wèn)題,如果利用XRD獲得薄膜晶格取向。课疫沒(méi)有使用過(guò)XRD,這個(gè)問(wèn)題看得我很頭大。麻煩了解的高手幫下忙,謝謝了,最后有舉例,謝謝!
京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
把測(cè)試的數(shù)據(jù)導(dǎo)入origin或者JADE里,然后結(jié)合PDF卡找強(qiáng)的衍射峰對(duì)應(yīng)的角度
剛看了篇文獻(xiàn)關(guān)于膜上面顆粒取向分布的。
它將膜的XRD與粉末(非成膜)的樣品的XRD進(jìn)行了對(duì)比,
然后發(fā)現(xiàn)膜的XRD中有幾個(gè)峰明顯比粉末對(duì)應(yīng)的峰要強(qiáng)。
然后說(shuō)峰對(duì)應(yīng)的面取向...
其實(shí),我也沒(méi)看懂,因?yàn)槲墨I(xiàn)里有一個(gè)角度更大,而且更強(qiáng)的峰,它都沒(méi)有標(biāo)晶面,也沒(méi)有說(shuō)是沿著這個(gè)晶面取向。
交流交流
接樓上,有了粉末(非定向)標(biāo)準(zhǔn)XRD各晶面指數(shù)的參照,就可以判定薄膜有沒(méi)有定向:與標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度基本一致薄膜無(wú)定向;與標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度差異較大薄膜有定向。根據(jù)薄膜衍射峰的晶面指數(shù)(hkl)可以判定薄膜在那個(gè)方向定向,如:(00l)方向、(hk0)方向。。。等
對(duì)薄膜,一般做小角散射
小角散射和大角的有什么不一樣?
就角度小點(diǎn)嗎?
ms我的膜要測(cè)試的話是從10°到70°的。不算小角度哎。
請(qǐng)教csxray ,與標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度基本一致薄膜無(wú)定向;與標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度差異較大薄膜有定向。這個(gè)是什么意思呢?
還有,怎么能判斷是否是擇優(yōu)取向呢?
我的這幅圖中,
上圖是粉末的xrd
下圖是AlO上薄膜的XRD,其中沒(méi)有扣除AlO的薄膜,
下圖中標(biāo)的即擇優(yōu)取向后的XRD對(duì)應(yīng)的晶面。
至于具體取向是什么 我也不清楚。
我這幅圖中,下圖的多個(gè)XRD峰是由于其取向在一定的角度范圍內(nèi)造成的,
如果是單一取向,我就不知道到底有幾個(gè)峰
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