【交流】EDS,EDX,EDAX, 各是什么東西？
請(qǐng)問下，
EDX, EDAX，EDS這三個(gè)到底是不是同一個(gè)東西？
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡上配的EDAX附件，到底是什么？能用來做組分含量的定量分析吧？
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
我也不懂，百度到的哦。
EDS (能譜,Energy Dispersive Spectrdmeter)
能譜儀是電子顯微鏡（掃描電鏡、透射電鏡）的重要附屬配套儀器，結(jié)合電子顯微鏡，能夠在1-3分鐘之內(nèi)對(duì)材料的微觀區(qū)域的元素分布進(jìn)行定性定量分析
EDX工作原理：X射線能量色散儀的基本原理是以 高能X射線（一次X射線）轟擊樣品，將待測(cè)元素原子內(nèi) 殼層的電子逐出，使原子處于受激狀態(tài)，10-12～10-15秒 后，原子內(nèi)的原子重新配位，內(nèi)層電子的空位由較外層 的電子補(bǔ)充，同時(shí)放射出特征X射線（二次X射線）。特 征X射線波長(zhǎng)和原子序數(shù)有一定關(guān)系，測(cè) 定這些特征譜線的波長(zhǎng)或能量可作定性分析；測(cè)量譜線 的強(qiáng)度，可求得該元素的含量。
Edax指的是掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡（TEM）上用的一種附屬分析設(shè)備---能譜儀，或指的是最早生產(chǎn)能譜儀的公司---美國(guó)伊達(dá)克斯有限公司，或這種分析技術(shù)。當(dāng)我們?cè)陔婄R上觀察電子顯微圖像的同時(shí)，可以用這種附屬設(shè)備分析顯微圖像上的一個(gè)點(diǎn)，或一個(gè)線或一個(gè)面上各個(gè)點(diǎn)所發(fā)射的X射線的能量和強(qiáng)度，以確定顯微圖像上我們感興趣的哪些點(diǎn)的元素信息（種類和含量），
EDX和EDS都是energy-dispersive X-ray spectroscopy 的縮寫，只是縮寫用的單詞有所差別，EDS取自energy、dispersive、spectroscopy ，EDX取自energy，dispersive X-ray所以一般稱為EDX spectroscopy ,而EDAX其功能和EDX是一樣的，有些文獻(xiàn)也表示是energy-dispersive X-ray spectroscopy 的縮寫，用來測(cè)試SEM樣品表面的元素含量。
那就是說，三個(gè)東西實(shí)際是一種玩意？！
對(duì)，就是一個(gè)玩意!
EDS和EDX的差別應(yīng)該在前者是掃描電鏡的附件，是電子轟擊試樣激發(fā)出X射線，測(cè)定特征X射線來分析元素種類和含量，后者是X射線轟擊試樣激發(fā)出特征X射線。