清華大學(xué)納米中心有光譜式橢偏儀。
https://www.cers.edu.cn/servlet/ ... lt?groupid=10003221

波長210nm-900nm，膜厚分辨率1A-幾個um
https://cache.baidu.com/c?m=9d78 ... 5f5e&user=baidu，

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清華大學(xué)有。哦。樓上已經(jīng)說了

北京量拓科技有，可以免費給測試，我們之前請對方給測試過樣品，結(jié)果還可以，最好是能夠自己送樣過去，可以看看檢測的過程。