參考：
1.
https://search.cnpat.com.cn/Sear ... 7&jsk=search_gb

半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)樣器
申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)： 200720070547
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)樣器，涉及半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的裝置。該進(jìn)樣器包括進(jìn)樣管及套接于進(jìn)樣管的進(jìn)樣口上的選擇性過(guò)濾接頭。進(jìn)一步地，該選擇性過(guò)濾接頭包括筒狀本體、安裝于筒狀本體上部的密封接頭以及可拆卸地安裝于筒狀本體底面選擇性半透膜。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型進(jìn)樣器通過(guò)在進(jìn)樣管的進(jìn)樣口處設(shè)置具有選擇過(guò)濾性功能的選擇性過(guò)濾接頭，將檢測(cè)樣品中不需要檢測(cè)或者影響檢測(cè)結(jié)果的雜質(zhì)從源頭上進(jìn)行阻止，提高了檢測(cè)設(shè)備的靈敏度；對(duì)大分子有機(jī)物或者高濃度無(wú)機(jī)物，可以避免對(duì)進(jìn)樣管的阻塞，增加了其使用壽命，降低了檢測(cè)成本。
申請(qǐng)日： 2007年06月01日
公開(kāi)日：  
授權(quán)公告日： 2008年04月23日
申請(qǐng)人/專(zhuān)利權(quán)人： 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
申請(qǐng)人地址： 上海市張江路18號(hào)
發(fā)明設(shè)計(jì)人： 肖建軍;張士仁;呂秋玲
專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu)： 上海智信專(zhuān)利代理有限公司
代理人： 王潔
專(zhuān)利類(lèi)型： 實(shí)用新型專(zhuān)利
分類(lèi)號(hào)： G01N27/62

2.
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3.

https://cache.baidu.com/c?m=9f65 ... 1b54&user=baidu

4.

https://cache.baidu.com/c?m=9d78 ... 0c4f&user=baidu，

一般都是通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)控制的。

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液體進(jìn)樣器 型號(hào):CN61M/1~9，它的特點(diǎn)主要是液體進(jìn)樣器采用單片機(jī)對(duì)推進(jìn)系統(tǒng)進(jìn)行控制，根據(jù)不同需求控制進(jìn)樣速度、行程。以準(zhǔn)確、可重現(xiàn)的特性將試樣引入儀器系統(tǒng)的裂解爐。進(jìn)樣器可用于液體樣品的自動(dòng)進(jìn)樣，與固體進(jìn)樣器配合，可實(shí)現(xiàn)固體樣品的自動(dòng)進(jìn)樣。技術(shù)參數(shù): 進(jìn)樣速度：1～9檔; 進(jìn)樣進(jìn)程：1～9檔 0檔（專(zhuān)用于固體樣品）; 重　　量：4kg; 功　　率：100W; 外形尺寸：350×130×140（mm）; 主要特點(diǎn): 穩(wěn)定可靠; 重復(fù)再現(xiàn); 勻速線性; 自動(dòng)靈便----聯(lián)系人：徐艷萍010-82890472。