射頻磁控濺射真空鍍MoO3膜時,真空規(guī)管燈光閃爍,不穩(wěn)定,是什么原因呢? 射頻功率400W,Ar氣的壓強1.6E-1Pa 返回小木蟲查看更多
是電離規(guī)嗎? >0.1Pa應(yīng)該要關(guān)電離規(guī)了吧.
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是電離規(guī)嗎? >0.1Pa應(yīng)該要關(guān)電離規(guī)了吧.
是在電離階段,不過不是那個原因。猛然發(fā)現(xiàn)為什么沒有人知道,原來俺弄的是山寨版的,O(∩_∩)O~。
氣體流量多大 穩(wěn)定不 不穩(wěn)定很容易離化不穩(wěn)定
要不加大流量
還有可能是工作環(huán)境不干凈
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