純度是石英玻璃的重要指標(biāo)，對(duì)理化性能和使用性能影響甚大，如失透性、高溫  石英玻璃
強(qiáng)度、軟化點(diǎn)、光的傳導(dǎo)、熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、耐輻射性、熒光特性等；此外，用于半導(dǎo)體工業(yè)的石英玻璃，對(duì)純度的要求更為苛刻，微量的雜質(zhì)將給半導(dǎo)體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴(yán)重的影響。由于半導(dǎo)體材料的純度要求控制在ppb數(shù)量級(jí)以下，因此石英玻璃則應(yīng)控制在PPm數(shù)量級(jí)以適應(yīng)半導(dǎo)體工業(yè)的需要。B的分凝系數(shù)近于1,最難除掉，是最有害的雜質(zhì)之一，Cu、Fe、Ti等影響半導(dǎo)體的少子壽命，K、Na、Li是單晶材料產(chǎn)生微缺陷的有害雜質(zhì)。本公司為半導(dǎo)體工業(yè)服務(wù)已有40余年的歷史，并始終致力于去除上述有害雜質(zhì)的研制工作。
詳細(xì)
　　表1 石英玻璃的化學(xué)純度 　　名稱 單位 ×10-4 % 　　Al Fe Ca Mg Ti Cu Mn Ni Pb Sn Cr B K Na Li OH 　　電熔石英玻璃 　　32 2.0 1.5 1.5 2.08 0.2 0.27 0.2 0.2 ＜0.3 ＜0.3 0.2 2.12 5.31 ＜0.3 5 　　氣煉石英玻璃 　　16 0.92 1.5 0.4 1.0 0.01 0.05 ＜0.3 ＜0.3 ＜0.3 ＜0.3 0.2 1.49 1.67 ＜0.3 400 　　電弧石英玻璃 　　10.4 0.3 0.6 0.3 1.35 0.05 ＜0.05 ＜0.3 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.1 0.7 1.0 1.0 27 　　合成高純石英玻璃 　　0.37 0.31 0.27 0.04 0.03 0.03 0.01 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.03 0.02 0.5 0.5 ＜0.03 1200 　　紅外光學(xué)石英玻璃 　　35 1.45 2.68 1.32 1.06 0.22 0.07 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.03 ＜0.03 0.3 2.2 3 ＜0.3 5 　　紫外光學(xué)石英玻璃 　　3.9 0.4 3.5 1.2 0.45 0.1 0.02 0.06 0.04 0.02 0.03 0.1 0.5 1.5 0.05 1200 　　不透明石英玻璃 　　56 7.4 15.3 1.57 1.5 0.2 0.1
編輯本段失透性
　　失透（又叫析晶性）是石英玻璃的一個(gè)固有缺陷，從熱力學(xué)觀點(diǎn)看，石英玻璃  石英玻璃
的內(nèi)能高于結(jié)晶態(tài)方石英，屬熱力學(xué)上不穩(wěn)定的亞穩(wěn)態(tài)，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，SiO2 分子振動(dòng)加速，經(jīng)一段較長時(shí)間的重新排列、定向便形成結(jié)晶。失透性是以晶核成長速度來表示的，不透明石英玻璃在1520℃、透明石英玻璃在1620℃析晶速度分別達(dá)到最大值。 　　析晶主要出現(xiàn)在表面，其次是內(nèi)部缺陷處，原因是這些地方容易沾污，引起雜質(zhì)離子的局部集聚，特別是堿離子（如K、Na、Li、Ca、Mg等）進(jìn)入網(wǎng)絡(luò)后引起粘度降低，促使失透加速。 　　由于石英玻璃的熱膨脹系數(shù)和比重同析晶產(chǎn)物β-方石英相近，所以在高溫下連續(xù)使用時(shí)，盡管析晶區(qū)不斷擴(kuò)大，但體積變化并不明顯，仍可滿意地繼續(xù)使用，此時(shí)尚可減輕玻璃的塑性變形，使耐火度提高。當(dāng)析晶產(chǎn)物冷卻到800℃時(shí)，則出現(xiàn)細(xì)小的龜裂網(wǎng)絡(luò)。繼續(xù)冷卻到200-275℃時(shí)，則出現(xiàn)方石英從高溫型到低溫型（即β-方石英→a-方石英）的結(jié)構(gòu)變化，并伴隨著發(fā)生體積聚變，如果析晶層很深，則石英玻璃亦隨之破裂。由于析晶常常出現(xiàn)在有雜質(zhì)的地方，所以高溫使用前的表面狀態(tài)及周圍耐火材料、氣氛十分重要。有關(guān)使用石英玻璃時(shí)注意事項(xiàng)后面還要介紹。
編輯本段化學(xué)性能
　　石英玻璃屬酸性材料，除氫氟酸和熱磷酸外，對(duì)其它任何酸均表現(xiàn)為惰性，是最好的耐酸材料。在常溫下堿和鹽對(duì)石英玻璃的腐蝕程度也是極微的，因此不排除在這些試劑中使用石英玻璃。 　　透明石英玻璃比不透明石英玻璃具有更好的化學(xué)穩(wěn)定性，這是因?yàn)楹笳哂捎跉馀莸拇嬖诒┞对诟�蝕液中的表面積增加所致。 　　表2 各種溶液侵蝕石英玻璃的重量損耗 　　溶液名稱 濃度（比重） 溫度（℃） 浸蝕時(shí)間（小時(shí) ） 重量損耗（克/米2 ） 　　透明石英玻璃 不透明石英玻璃 　　鹽酸 1.19 60 24 0.034 0.16 　　硝酸 1.40 115 24 0.11 0.15 　　硫酸 1.84 205 24 0.06 0.13 　　氫氟酸 38% 室溫（22℃） 2 259.39 379.80 　　磷酸 200 15 微量 　　300 15 58.00 　　氫氧化鈉 1% 101 2 0.80 5.15 　　氫氧化鉀 1% 98 2 0.68 4.63 　　氫氧化銨 25% 65 2 0.09 0.33 　　氯化鈉 10% 102 2 0.14 0.34 　　碳酸鈉 10% 102 2 1.20 4.99，

雖然不是很滿意，但是還是很感謝你！

CVD生產(chǎn)的石英玻璃中所含有的雜質(zhì)，一般是四氯化硅原料中的，還有一部分來源于生產(chǎn)設(shè)備。