我們磁控濺射上的射頻功率源最近壞了,加功率的時候電流很大而電壓很小,以為是電子管壞了,換了新的電子管還是不行,而且電子管很燙手,請教高手指點 返回小木蟲查看更多
難道是短路了?
射頻功率源,你那個是直流電源吧,射頻的只有偏壓和功率啊,直流電源有你說的那個!
到底是什么問題呢?麻煩LZ說下? 真的很想知道..
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難道是短路了?
射頻功率源,你那個是直流電源吧,射頻的只有偏壓和功率啊,直流電源有你說的那個!
是不是靶材跟上面的罩子距離近了?氣體很容易就被擊穿了,所以有電流沒電壓
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到底是什么問題呢?麻煩LZ說下?
真的很想知道..