求解決分子泵問題！
跪求解決分子泵問題��！
我們用的沈陽科興的磁控濺射儀，半年沒用了，現(xiàn)在開始使用，可是設(shè)備在工作期間，分子泵自動停止運轉(zhuǎn)，以前抽真空幾天都不會出現(xiàn)這種情況，上次拿氮氣槍吹了吹分子泵電源，用了一周正常。昨晚8點開始抽真空，10點的時候抽到10的-4，早上一看停了5555555，這是怎么回事，請高手指點！！急急急！�。�
[ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ]
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號
這個最好問問專業(yè)人員，是不是電源出問題了
搗鼓了一下去，是水路問題，有的接口處堵住了，清理干凈了，希望一切分子泵以后一切正常，別再給我添亂了！受不了啦
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冷卻很重要，以后使用注意點就行了
嗯，好的，就是外部表面上看著沒事，拆開一看堵住了555