關(guān)于電子束和離子束的區(qū)別
比如，同樣30KV的加速電壓
離子束和電子束的能量是一致的吧？
離子質(zhì)量大，所以速度比較��？
但是離子束會(huì)有濺射作用，所以對(duì)樣品的損失會(huì)大很多？
求高手解答，非常感謝！
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
這是一個(gè)帶電粒子在電場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的問(wèn)題，和電荷量、加速電壓、質(zhì)量有關(guān)。
電子束由電子組成，而離子束一般由金屬粒子組成，本質(zhì)的原理是一樣的。都有濺射作用，對(duì)樣品損傷也沒(méi)一定的規(guī)律。但對(duì)于石英材料來(lái)講，損傷很明顯。電子束不會(huì)造成成分污染，但離子束會(huì)，相當(dāng)于離子注入，