氧化矽和氧化鋁蒸鍍薄膜
氧化矽、氧化鋁蒸鍍薄膜是近年?韲�外研製生產(chǎn)的高阻透性的塑料薄膜，有如下優(yōu)?的優(yōu)點：具有優(yōu)?的阻透性，對氧和水蒸氣的阻透性非常好；耐溫性好，使用溫度範圍寬，而且可透過電磁波；優(yōu)秀的耐藥品性，可用於耐酸堿的包裝；良好的透明性；無環(huán)境汙染，?U棄後可回收，焚燒殘渣極少。
蒸鍍膜對於氧及水蒸氣的透過率非常小，是目前公認的平衡阻透性優(yōu)良的透明高阻透性薄膜。鍍矽塑料膜是以塑料薄膜為基材，在其上用真空鍍膜的方法，鍍上一層厚度為幾十納米的矽氧化物膜。該層矽氧化物為非晶體的SiO2。這層矽氧化物很薄，透明性很好，與塑料薄膜粘合極牢，故鍍矽塑料膜的耐蒸煮性和抗??折性都好。矽氧化物膜很薄，微波可幾乎不被吸收地透過。膜十分致密，阻氧、阻?裥閱芏際�分好，蕼暇拑矽塑料膜都�?yōu)於鍍鋁塑料膜。而這層矽氧化物矽塑料膜的阻隔性能又優(yōu)於所有的塑料複合膜。鍍矽塑料膜的保香性也很好。
氧化鋁蒸鍍薄膜，在無色透明的蒸鍍膜上有殘留應力，成本比SiO2蒸鍍的價廉。另外為使其具有印刷性須另在蒸鍍薄麵加外保護膜。AI2O3蒸鍍膜必須有外保護膜，其衝擊性低，印刷和加工時容易產(chǎn)生微小裂紋。氧化鋁蒸鍍膜主要用於食品包裝領域，氧化矽蒸鍍膜主要用於要求高阻透性的電子設備等非食品領域裏，

一般采用蒸鍍的方法,濺射和沉積方法也許可行

磁控濺射、電子束蒸發(fā)、等離子體增強化學沉積（PECVD）都可。