磁控濺射反偏電壓
機(jī)器平時(shí)工作很穩(wěn)定，這幾次靶材功率源加到40W以上，反偏電壓指針會(huì)突然滿偏（平時(shí)我們要求其處于最低位置），輝光放電消失。功率源沒(méi)有問(wèn)題，問(wèn)題在于靶材，不知道各位大俠有沒(méi)有遇見(jiàn)過(guò)類似的問(wèn)題，求大俠指教。
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是不是靶材加壓不均勻
修機(jī)器的時(shí)候發(fā)現(xiàn)靶材短路了，謝謝
，