光刻膠用樹(shù)脂有哪些樹(shù)脂種類
用于光刻膠的樹(shù)脂有哪些？
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
正膠用酚醛樹(shù)脂，負(fù)膠用感光樹(shù)脂，感光樹(shù)脂有聚乙烯醇月桂酸酯、加重鉻酸鹽的明膠或聚乙烯醇、有光聚合能力的烯類單體等等。
挺多的，光刻膠有正膠和負(fù)膠之分，還有化學(xué)增幅光刻膠等。正膠主要是酚醛樹(shù)脂類別的樹(shù)脂，負(fù)膠有聚乙烯醇肉桂酸酯及環(huán)化橡膠等，而化學(xué)增幅型光刻膠又按照曝光光源分為：G線，I線，KrF光刻膠和ArF光刻膠，以及極紫外光刻膠，其中G線和i線使用的一般為改性的酚醛樹(shù)脂，而KrF和ArF多選擇脂肪族聚合物，