磁控濺射腔內(nèi)氣味
請(qǐng)教大俠，磁控濺射腔內(nèi)的氣味是什么呢？我一般用Ar氣，可是每次開倉就能聞到里面有一股餿味兒。不知道是什么的東西的味道，清理腔體之后會(huì)好些...
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
氬氣電離后，氬氧比，氧氣也有可能被電離，會(huì)形成臭氧的味道。
不過我沒有通入氧氣，這個(gè)氧是哪里來的呢
，
老師也說過是臭氧的味道
可能是本底真空度不夠，有氧氣殘余