請(qǐng)真空鍍膜過程中，使用過偏壓清洗的朋友幫忙回答一下！謝謝
本人使用磁控濺射設(shè)備，在硬質(zhì)合金基體上制備硬質(zhì)涂層，在鍍膜前需要使用偏壓清洗一下工件的表面。我想問一下當(dāng)我給真空室中通入氬氣到2*10-1Pa，然后給工件加上1000V的負(fù)偏壓，占空比30%進(jìn)行偏壓清洗，我想問問此時(shí)工件的表面或附近會(huì)不會(huì)出現(xiàn)輝光或者是白光啊？因?yàn)槲仪逑赐曛�，把工件拿出�?lái)之后，發(fā)現(xiàn)跟放進(jìn)去之前沒有什么變化，表面還是比較臟，也還有氧化皮等。。請(qǐng)用過偏壓清洗的朋友們幫忙分析一下��！謝謝
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
我在做偏壓清洗時(shí)，工件（基體）如果是導(dǎo)體的話，它周圍是有光的；若工件不是導(dǎo)體的話，它周圍沒光。但是無(wú)論工件是導(dǎo)體與否，工件所在的轉(zhuǎn)架周圍有很暗的紫色光，而且你會(huì)發(fā)現(xiàn)偏壓指針不斷的晃動(dòng)直至清洗完畢后穩(wěn)定。
我也是使用磁控濺射設(shè)備的。。。。樓上說(shuō)的基本正確。。我是做半導(dǎo)體薄膜的
那能方便告訴一下您偏壓清洗的工藝參數(shù)嗎？我的是磁控濺射，偏壓電源為脈沖偏壓電源，我一般加1000V，占空比30%~70%我都試過，氬氣壓強(qiáng)5*10-2Pa~5*10-1Pa這個(gè)范圍我也都試過。但就是沒有看到所謂的光，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的光亮也沒看到，我的工件是硬質(zhì)合金，應(yīng)該是導(dǎo)電的
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能方便說(shuō)一下您磁控濺射鍍膜時(shí)偏壓清洗的具體工藝參數(shù)嗎？謝謝
我們實(shí)驗(yàn)室是直流磁控濺射，你的氬氣壓強(qiáng)有點(diǎn)低，一般情況下，輝光清洗的工藝參數(shù)都比正常鍍膜的時(shí)候高，占空比我們用的是0.6，而且加壓的時(shí)候不是一下就加到一個(gè)值就不動(dòng)啦，它有一個(gè)范圍的，比如從400緩慢加到600看它指針的變化。
哦，學(xué)習(xí)了！我們也是直流磁控濺射，當(dāng)時(shí)買脈沖偏壓電源的時(shí)候，設(shè)備廠家給提供了一套偏壓清洗的工藝，但是我試的時(shí)候老是不成功。我還想問下您是哪個(gè)單位的啊？方便告知一下不