RF磁控濺射臺,鍍膜時 常用Ar氣體,別的氣體可行嗎,可不可以用氮氣作為濺射氣體? 返回小木蟲查看更多
一般選擇惰性的氬氣為工作氣體,氮氣等為反應(yīng)氣體。 即使氮氣與靶材不反應(yīng),但其放電也不如氬氣容易,且氮原子質(zhì)量低,濺射效應(yīng)比較差,
Copyright © 2001-2026 小木蟲 意見反饋 廣告投放 漏洞提交
一般選擇惰性的氬氣為工作氣體,氮氣等為反應(yīng)氣體。
即使氮氣與靶材不反應(yīng),但其放電也不如氬氣容易,且氮原子質(zhì)量低,濺射效應(yīng)比較差,