如何清理玻璃表面附著的硅粉?
在非晶硅PECVD沉積之后,會(huì)在玻璃底板受光面附著大量的硅粉,由于其會(huì)影響之后激光刻劃的效果,從而直接影響到發(fā)電的功率。特此求助蟲友們,有沒有一種合適的方法能夠竟可能快速高效的清理掉硅粉。
目前我采用的方式是用無塵布擦拭,效果不是很好。
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在非晶硅PECVD沉積之后,會(huì)在玻璃底板受光面附著大量的硅粉,由于其會(huì)影響之后激光刻劃的效果,從而直接影響到發(fā)電的功率。特此求助蟲友們,有沒有一種合適的方法能夠竟可能快速高效的清理掉硅粉。
目前我采用的方式是用無塵布擦拭,效果不是很好。
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加乙醇,超聲洗,,硅和乙醇很容易反應(yīng),可能會(huì)有利于清洗
行家~!卻是最后也是這么干的
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