最近用橢偏儀測(cè)了一個(gè)二硫化鉬薄膜樣品的橢偏數(shù)據(jù)，但用這組數(shù)據(jù)擬合薄膜的光學(xué)參數(shù)時(shí)，一直擬合不出MSE較小的參數(shù)。因?yàn)榈谝淮螠y(cè)橢偏儀，對(duì)怎樣處理數(shù)據(jù)還不太了解，希望有會(huì)分析橢偏數(shù)據(jù)的老師或同學(xué)幫忙分析一下。薄膜是涂在金襯底上面的，薄膜有較大的粗糙度，所以擬合時(shí)可能要擬合粗糙度。附件里是橢偏儀測(cè)的數(shù)據(jù)，還有一篇相關(guān)文獻(xiàn)。文獻(xiàn)中是用六振子模型擬合的，也許會(huì)對(duì)您擬合有幫助。另外薄膜是用旋涂法制備的，光學(xué)參數(shù)可能會(huì)和文獻(xiàn)中的區(qū)別較大，所以文獻(xiàn)僅供參考。若有人能夠較快地?cái)M合出較準(zhǔn)確的參數(shù)，我會(huì)另外加金幣感謝。謝謝大家。

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