真空度對(duì)SEM樣品的影響大不大？
文章審回來(lái)，審稿人提出了一個(gè)疑問(wèn)，圖abc三個(gè)掃描電鏡圖的真空度分別是1.11*e-003Pa，4.46*e-004Pa和4.46*e-004Pa，審稿人的疑問(wèn)是這三個(gè)圖還能放在一起比較么？真空度對(duì)掃描電子顯微鏡呈現(xiàn)的圖影響大不大？請(qǐng)教各位，謝謝！
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。。。這神馬審稿人這蛋疼。。。你啥樣品，最簡(jiǎn)單的辦法就是同樣材料的樣品給他做個(gè)不同真空度的貼上
這樣回復(fù)：即使按真空度1.11*e-003Pa（即8.3e-6 Torr）計(jì)，其SEM真空腔內(nèi)的分子平均自由程也高達(dá)600cm，該值遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于測(cè)試時(shí)的工作距離（自己補(bǔ)值），故測(cè)試時(shí)的電子束近乎無(wú)散射地直接入射到樣品表面，因此1.11*e-003Pa的氣壓對(duì)SEM測(cè)試的影響可忽略不計(jì)，更不用說(shuō)更高的真空度了。
實(shí)際上，對(duì)于一些液體樣品，在10Pa到1Pa的氣壓下都是可以測(cè)量的。
1e-5 Torr，分子平均自由程為500cm，參見(jiàn)：
https://wenku.baidu.com/view/683dae035acfa1c7aa00ccf5.html，