納米硅薄膜刻蝕
我們通過化學(xué)氣相沉積的方法得到了100-1000nm的硅薄膜,然后我想通過刻蝕的方法把表面加工成不同的3D結(jié)構(gòu),不知道國內(nèi)有沒有合適的公司機構(gòu)可以加工,最好也可以制作模板。不知有沒有哪位大神了解,煩請告知一下,謝謝了
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我們通過化學(xué)氣相沉積的方法得到了100-1000nm的硅薄膜,然后我想通過刻蝕的方法把表面加工成不同的3D結(jié)構(gòu),不知道國內(nèi)有沒有合適的公司機構(gòu)可以加工,最好也可以制作模板。不知有沒有哪位大神了解,煩請告知一下,謝謝了
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淌吹姆椒ㄗ?D結(jié)構(gòu)?多層刻蝕還是要做懸空膜結(jié)構(gòu)?
可以聯(lián)系研材微納,掩模版也是他們做,
我們這里能做的,已經(jīng)私信樓主