emmm機(jī)械剝離之后經(jīng)過光刻顯影,就成了這個情況,但是剝離之后挺干凈的,空基底光刻也沒問題。 返回小木蟲查看更多
可能是被污染了,用丙酮清洗一下?
襯底什么材料的?石墨烯?其它二維材料?問題描述的不清楚,也沒有顯微鏡的圖片………… 你這種顯影不干凈,表面花,飄膠,啥都有可能。用什么光刻膠,什么設(shè)備,襯底材料,工藝目的,啥都不說,沒辦法分析,
我做光刻膠和清洗劑的
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可能是被污染了,用丙酮清洗一下?
襯底什么材料的?石墨烯?其它二維材料?問題描述的不清楚,也沒有顯微鏡的圖片…………
你這種顯影不干凈,表面花,飄膠,啥都有可能。用什么光刻膠,什么設(shè)備,襯底材料,工藝目的,啥都不說,沒辦法分析,
我做光刻膠和清洗劑的