求教大神SEM-EDS測試選擇加速電壓不同,有什么區(qū)別 返回小木蟲查看更多
SEM電壓高會更偏向內(nèi)部的形貌而不是最表面的,EDS不同元素有不同的激發(fā)電壓,太低的話可能某些元素根本沒法測出來,
加速電壓一超過過壓比會抑制相應(yīng)元素的熒光產(chǎn)額,所以相對量會有差異
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SEM電壓高會更偏向內(nèi)部的形貌而不是最表面的,EDS不同元素有不同的激發(fā)電壓,太低的話可能某些元素根本沒法測出來,
加速電壓一超過過壓比會抑制相應(yīng)元素的熒光產(chǎn)額,所以相對量會有差異