在硅片上打孔,貫穿孔,厚度在2mm以內(nèi),孔的尺寸在20微米至500微米之間。謝謝大家 返回小木蟲查看更多
2mm的硅片在研材微納常年有備貨,這個不算最厚的。 但是這么小的孔,無論是用激光還是干法刻蝕,都很難做到100um以下,
AR要在100以上,掩膜得用金屬了吧
只能上超快激光試試了,就是成本高一點
20um線寬干法刻蝕到200um
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2mm的硅片在研材微納常年有備貨,這個不算最厚的。
但是這么小的孔,無論是用激光還是干法刻蝕,都很難做到100um以下,
AR要在100以上,掩膜得用金屬了吧
只能上超快激光試試了,就是成本高一點
20um線寬干法刻蝕到200um