泡沫鎳用做CVD襯底,反應(yīng)后變脆!
襯底溫度在600-700℃,前驅(qū)體是Se源和Pd源,載氣有部分是氫氣。泡沫鎳反應(yīng)之后變得很脆,稍微一用力就碎了,磁性又很強,沒有辦法做SEM,請問大家問題出在哪里呢?我特意買的耐高溫泡沫鎳,廠家說可耐900度,文獻(xiàn)上做石墨烯的也用的同樣的泡沫鎳,沒有出現(xiàn)問題。
泡沫鎳的前處理是,稀鹽酸,丙酮,酒精,水分別超聲,最后真空烘干的。
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襯底溫度在600-700℃,前驅(qū)體是Se源和Pd源,載氣有部分是氫氣。泡沫鎳反應(yīng)之后變得很脆,稍微一用力就碎了,磁性又很強,沒有辦法做SEM,請問大家問題出在哪里呢?我特意買的耐高溫泡沫鎳,廠家說可耐900度,文獻(xiàn)上做石墨烯的也用的同樣的泡沫鎳,沒有出現(xiàn)問題。
泡沫鎳的前處理是,稀鹽酸,丙酮,酒精,水分別超聲,最后真空烘干的。
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還有泡沫鎳的消磁一般采用什么手段呢?
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求助?
氫脆