橢圓偏振（橢偏）光譜技術(shù)儀是一種用于測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器，橢圓偏振光譜測試技術(shù)的測量精度高，適用于各種光學(xué)薄膜，金屬薄膜，有機(jī)薄膜，以及復(fù)雜的多層膜，測試中與樣品沒有接觸，是一種快速便捷的無損檢測技術(shù)。國外主流的橢偏儀包括J A Woollam, Horiba Jobin Yvon, Sentech等，常用數(shù)據(jù)擬合軟件包括CompleteEASE, DeltaPsi2等。

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