厚度80um，那你做的線寬多少？

10μm左右

10u還叫厚嘛

做不了，基本上曝不開

估計(jì)你用的是SU8。如果是SU8的話，首先膠的選擇很重要。建議使用研材微納的683，其它的SU8，包括進(jìn)口microchem的，各個(gè)系列都有一些限制。
首先你這種接近10:1高寬比的，microchem的2000系列，但是它的粘附性很差。3000系列又最大只能做到5:1。
還有很多其它的工藝細(xì)節(jié)，比如，光源必須是單色的，顯影要用特殊的工具，襯底要做如何的特殊處理等等等等，才又可能做到10:1的高寬比。
建議直接發(fā)信給研材微納的技術(shù)郵箱或者銷售郵箱進(jìn)行咨詢，或者直接參加他們的SU8光刻培訓(xùn)，